用途：主要用于三坐标、机床的校准工作

激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是*的高精度、高灵敏度的检测手段，在高端制造领域应用广泛。

SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组与激光配合，得到不同的干涉信号，然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据，将数据通过计算机进行显示和动态分析。

SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，而且及时处理数据，为机床误差修正提供依据。

系统具有模块化结构，您可以从中图仪器的一系列产品中选择组件，以满足您的具体测量需求。

1. 功能特点

1.1. 产品功能特点

1. 测量精度高：以激光干涉技术为核心，分辨率可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，解决温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，*激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，*干涉光路稳定。

2. 具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并且可满足回转轴分度精度的测量。

3. 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，满足机床误差修正的要求。

4. 具有动态测量（位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线）及测量振幅和频率分析的功能，可进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等。

5. 内置各种类国标（GB）、ISO（国际）、BS（英制）、美标、DIN（德标）、JIS（日标）等机床检验标准。可依据各种机床标准分析处理数据，并根据测量结果可打印相应的曲线图和数据报告。

6. 可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动对波长进行环境补偿。

7. 测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；可将检定数据输出到Word、Excel、AutoCAD（选配）文档。

8. 安装方便：基本重量为15kg，简单便携。

1.2. 分析标准配置

激光干涉仪测量分析软件支持以下检验标准：

2. 技术指标

2.1. 技术指标

 系统性能

    1、测量方式：单频

    2、稳频精度：0.05ppm

    3、动态采集频率：50 kHz

    4、预热时间：5-10分钟

    5、工作温度范围：0~40℃

    6、环境温度范围：0~40℃

       7、存储温度范围：-20℃~70℃

 环境补偿示值误差

    1、空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

        2、材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

    3、空气湿度传感器：±6% (0-95%)

    4、大气压力传感器：±1mBar (650-1150mbar)

   线性测量

    1、测量距离：0-40m

    2、测量精度：0.5ppm (0-40℃)

    3、测量分辨率：1nm

    4、测量*速度：4m/sec

   角度测量

    1、轴向量程：0-15m

    2、测量范围：±10°

    3、测量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）

    4、测量分辨率：0.1μm/m

   直线度测量