用途：主要用于三坐标、机床的校准工作

激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是公认的高精度、高灵敏度的检测手段，在高端制造领域应用广泛。

SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组与激光配合，得到不同的干涉信号，然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据，将数据通过计算机进行显示和动态分析。

SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，而且及时处理数据，为机床误差修正提供依据。

系统具有模块化结构，您可以从中图仪器的一系列产品中选择组件，以满足您的具体测量需求。

1. 功能特点

1.1. 产品功能特点

1. 测量精度高：以激光干涉技术为核心，分辨率可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，解决温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。

2. 具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并且可满足回转轴分度精度的测量。

3. 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，满足机床误差修正的要求。

4. 具有动态测量（位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线）及测量振幅和频率分析的功能，可进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等。

5. 内置各种类国标（GB）、ISO（国际）、BS（英制）、美标、DIN（德标）、JIS（日标）等机床检验标准。可依据各种机床标准分析处理数据，并根据测量结果可打印相应的曲线图和数据报告。

6. 可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动对波长进行环境补偿。

7. 测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；可将检定数据输出到Word、Excel、AutoCAD（选配）文档。

8. 安装方便：基本重量为15kg，简单便携。

1.2. 分析标准配置

激光干涉仪测量分析软件支持以下检验标准：

2. 技术指标

2.1. 技术指标

 系统性能

    1、测量方式：单频

    2、稳频精度：0.05ppm

    3、动态采集频率：50 kHz

    4、预热时间：5-10分钟

    5、工作温度范围：0~40℃

    6、环境温度范围：0~40℃

       7、存储温度范围：-20℃~70℃

 环境补偿示值误差

    1、空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

        2、材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

    3、空气湿度传感器：±6% (0-95%)

    4、大气压力传感器：±1mBar (650-1150mbar)

   线性测量

    1、测量距离：0-40m

    2、测量精度：0.5ppm (0-40℃)

    3、测量分辨率：1nm

    4、测量最大速度：4m/sec

   角度测量

    1、轴向量程：0-15m

    2、测量范围：±10°

    3、测量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）

    4、测量分辨率：0.1μm/m

   直线度测量

    1、轴向量程：0.1-4.0 m

    2、测量范围：±2.5 mm

    3、测量精度：±0.5% R±0.5±0.15M² μm（M为光学镜移动距离，单位：m）

    4、测量分辨率：0.01μm

   垂直度测量

    1、测量范围：±3/M mm/m

    2、测量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）

    3、测量分辨率：0.01μm/m

   平面度测量

    1、轴向量程：0-15 m

    2、测量范围：±1.5 mm

    3、测量精度：±0.6% R±0.02 M² μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）

    4、测量分辨率：0.1μm

   回转轴分度精度测量

    1、角度测量范围：0-360°

    2、精密转台角度增量：5°

    3、精密转台分度精度：±1秒

    4、精密转台重复性：0.2秒

2.2. 尺寸重量与供电

    便携箱尺寸：560×360×250（基础系统），560×460×270（完整系统）

    基本重量(含三脚架，包装)：15Kg

    供电电源：110~265VAC

3. 系统组件

3.1. 系统组件

1) SJ6000主机：1台

2) 环境补偿单元：1台

3) 光学镜组：

线性测量光学镜组：1套（标准配置）

小型线性光学镜组：1套（标准配置）

      小角度测量光学镜组：1套（选配）

      直线度测量光学镜组：1套（选配）

      垂直度测量光学镜组：1套（选配）

      平面度测量辅助附件：1套（选配）

回转轴测量精密转台：1套（选配）

4) 测量软件：1套

5) 便携式笔记本电脑：1台

6) 便携式仪器配件箱：1个

7) 通用三脚架：1个

8) 云台附件：1套

9) 磁性表座：2套

10)  产品使用说明书：1套

11)  产品合格证、保修卡：1套

12)  免费保修：1年